便携式毒性气体检测仪
XP-703D
厂商名称 新宇宙
产品型号 XP-703D
产品名称 便携式毒性气体检测仪

型号:

XP-703D(自动吸引式)半导体特气检漏仪

特点:

● 最适合于检测半导体特气的微量泄漏。

● 采用声光报警。

规格:

型 号

XP-703D

检测对象气体

半导体材料气体(胂、膦、乙硼烷、硅烷、氢气等)

检测原理

热线型半导体式

采样方式

自动吸引式

可检测浓度(单位:ppm)

砷烷 磷烷 乙硼烷 硅烷 氢气AsH 3 PH 3 B 2 H 6 SiH 4 H 2 0.2 0.3 0.1 0.5 1.0

检测表示

蜂鸣器断续鸣响及指示灯闪烁

应答速度

10 秒以内


 
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